Estimation of W-polycide Gated Process with Superior Device Behavior in Deep Sub-μm CMOS Technology
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- 資料識別：
- A06051131
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 陳啟文(Chen， Chii-wen) 吳明瑞(Wu， Ming-ray)
- 主題與關鍵字：
- 深次微米 鎢複晶矽閘極 通道長度 短通道效應 場效電晶體 Deep sub-μm W-polycide Channel length Short channel effect CMOSFET
- 描述：
- 來源期刊:明新學報
- 卷期:20 民87.05
- 頁次:頁205-211
- 日期：
- 19980500
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
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