Oxide Charging Effects Induced by Plasma Hydrogenation on Poly-si Thin Film Transistors
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- 資料識別：
- A06050013
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 陳啟文(Chen， Chii-wen)
- 主題與關鍵字：
- 薄膜電晶體 電漿氫化 電荷損害 天線效應 TFT Plasma hydrogenation Plasma charging damage Antenna effect
- 描述：
- 來源期刊:明新學報
- 卷期:19 民86.11
- 頁次:頁187-194
- 日期：
- 19971100
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
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