Impact of High Temperature Thermal Cycle on the Characteristics of Thin Film Transistor in ULSI Technology
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- 資料識別：
- A06049481
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 陳啟文(Chen， Chii-wen) 吳明瑞(Wu， Ming-ray)
- 主題與關鍵字：
- 複晶矽 薄膜電晶體 爐管退火 快速升溫退火 靜態隨機存取記憶體 Polysilicon TFT Furnace annealing RTA High temperature annealing SRAM
- 描述：
- 來源期刊:明新學報
- 卷期:21 民87.12
- 頁次:頁149-155
- 日期：
- 19981200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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