An Instrument for Nanomachining and Nanometrology of Free-form Surface Profiles with a Diamond Turning Machine
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- 資料識別：
- A06043133
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- Gao， Wei Kudo， Yasuto Kiyono， Satoshi Patten， John
- 主題與關鍵字：
- Free-form Surface profile Fast tool servo Force sensor Displacement sensor 超精鑽石車床 自由曲面奈米加工 奈米量測
- 描述：
- 來源期刊:中國機械工程學刊
- 卷期:25:5 民93.10
- 頁次:頁449-455
- 日期：
- 20041000
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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