Performance Study of a Micro Plasma Switch
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- 資料識別：
- A06042593
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 楊燿州(Yang， Yao-joe) 蔡宗勳(Tsai， Tsong-hsun) 張培仁(Chang， Pei-zen)
- 主題與關鍵字：
- Plasma switch MEMS Electrothermal heating Particle-in-cell 微機電製程 電漿開關
- 描述：
- 來源期刊:中國機械工程學刊
- 卷期:25:6 民93.12
- 頁次:頁475-484
- 日期：
- 20041200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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