Development of a Novel Heavy-Loading Flexure Hinge Based Stack-Type Five-Degree-of-Freedom Nanometer Positioning Stage
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- 資料識別：
- A06042567
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 覺文郁(Jywe， Wen Yuh) 沈金鐘(Shen， Jing Chung) 劉建宏(Liu， Chien Hung) 鄧雲峰(Teng， Yun Feng) 簡裕特(Jian， Yu Te)
- 主題與關鍵字：
- Stack-type stage Flexure hinge Nanometer stage Multi-degrees-of freedoms Positioning control Sliding mode control 重負荷疊積式平臺 重負荷微動平臺 奈米微動平臺 五自由度雷射量測系統
- 描述：
- 來源期刊:中國機械工程學刊
- 卷期:25:6 民93.12
- 頁次:頁465-474
- 日期：
- 20041200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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