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鎳金屬奈米點陣與矽晶基材間界面反應之研究
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資料識別:
A06042244
資料類型:
期刊論文
著作者:
鄭紹良(Cheng, S. L.) 呂紹瑋(Lu, S. W.) 陳暉(Chen, H.)
主題與關鍵字:
奈米球微影術 矽化物 界面反應 奈米點陣 Nanosphere lithography Silicide Interfacial reaction Nanodot array
描述:
來源期刊:界面科學會誌
卷期:28:1 民95.03
頁次:頁55-62
日期:
20060300
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館
授權聯絡窗口
管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305
引用這筆典藏
引用資訊
鄭紹良(Cheng, S. L.) 呂紹瑋(Lu, S. W.) 陳暉(Chen, H.)(20060300)。[鎳金屬奈米點陣與矽晶基材間界面反應之研究]。《數位典藏與數位學習聯合目錄》。http://catalog.digitalarchives.tw/item/00/4c/92/6e.html(2017/03/24瀏覽)。
直接連結
http://catalog.digitalarchives.tw/item/00/4c/92/6e.html
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