鎳金屬奈米點陣與矽晶基材間界面反應之研究
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- 資料識別：
- A06042244
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 鄭紹良(Cheng， S. L.) 呂紹瑋(Lu， S. W.) 陳暉(Chen， H.)
- 主題與關鍵字：
- 奈米球微影術 矽化物 界面反應 奈米點陣 Nanosphere lithography Silicide Interfacial reaction Nanodot array
- 描述：
- 來源期刊:界面科學會誌
- 卷期:28:1 民95.03
- 頁次:頁55-62
- 日期：
- 20060300
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
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