Electrochemical Copper Metallization and Interface Adhesion Measurement for ULSI Application
推薦分享
資源連結
連結到原始資料 (您即將開啟新視窗離開本站)後設資料
- 資料識別：
- A06042240
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 張守一(Chang， Shou-yi) 林樹均(Lin， Su-jien)
- 主題與關鍵字：
- 電化學 金屬化製程 界面強度 Electrochemistry Metallization Interface adhesion
- 描述：
- 來源期刊:界面科學會誌
- 卷期:28:1 民95.03
- 頁次:頁11-19
- 日期：
- 20060300
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
授權聯絡窗口
- 管理單位：知識服務組-期刊
聯絡E-mail：nclper@ncl.edu.tw
電話：02-23619132轉305
