積體電路生產線上各檢驗站缺陷數與產品良率關聯性之研究
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- 資料識別：
- A06040733
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 唐麗英(Tong， Lee-ing) 李威儀(Lee， Wei-i) 黃建隆(Huang， Chien-lung)
- 主題與關鍵字：
- 積體電路 缺陷 線上檢驗 良率 Integrated circuit Defect In-line inspection Yield
- 描述：
- 來源期刊:品質學報
- 卷期:5:1 民87.06
- 頁次:頁135-152
- 日期：
- 19980600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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