半導體晶圓廠製程生產環境H.V.A.C.系統之風險評估與可靠度提昇研究--FMEA方法的應用
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- 資料識別：
- A06035074
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 陳俊維 陳家榮
- 主題與關鍵字：
- 失效風險 半導體晶圓廠 潔淨室 風險優先指數 FMEA H.V.A.C.
- 描述：
- 來源期刊:企銀季刊
- 卷期:28:4 民94.10
- 頁次:頁43-64
- 日期：
- 20051000
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
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