High-Density Optical Disk Mastering Using Electron Beam Lithography with Modified LIGA Demolding Mechanism
推薦分享
資源連結
連結到原始資料 (您即將開啟新視窗離開本站)後設資料
- 資料識別：
- A06034863
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 沈聖智(Shen， Sheng-chih) 鄭博仁(Cheng， Po-jen) 羅士哲(Lo， Shih-che) 潘正堂(Pan， Cheng-tang) 黃永茂(Hwang， Yeong-maw) 陳明發(Chen， Ming-fa)
- 主題與關鍵字：
- Mastering High-density electron beam Lithography Ni-Co 電子束 脫模技術 LIGA製程 光碟片 奈米螺旋溝槽
- 描述：
- 來源期刊:中國機械工程學刊
- 卷期:27:1 民95.02
- 頁次:頁31-36
- 日期：
- 20060200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
授權聯絡窗口
- 管理單位：知識服務組-期刊
聯絡E-mail：nclper@ncl.edu.tw
電話：02-23619132轉305
