阻抗式感測元件之多元微小化設計及製作
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- 資料識別：
- A06034106
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 陳克紹(Chen， K. S.) 唐自標(Tang， T. P.) 李明旭(Li， M. S.) 柯惟馨(Ke， W. H.)
- 主題與關鍵字：
- 微電子感測元件 電極圖形設計 積體化 濕度感測器 Microelectronic sensitive device Electrode pattern design Integration Humidity sensor
- 描述：
- 來源期刊:鑛冶
- 卷期:49:4=192 民94.12
- 頁次:頁128-136
- 日期：
- 20051200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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