300mm晶圓傳送盒氮氣填充理論分析及動態模擬：考慮水氣滲入及吸附對填充效率之影響
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- 資料識別：
- A06033312
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 曹志明(Tsao， James J. M.) 胡石政(Hu， S. C.) 吳宗明(Wu， T. M.) 黃俊文(Huang， J. W.)
- 主題與關鍵字：
- 晶圓傳送盒FOUP 氮氣填充 吸附 計算流體力學
- 描述：
- 來源期刊:潔淨科技
- 卷期:8 民93.12
- 頁次:頁53-62
- 日期：
- 20041200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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