Faraday Cup Characterisation of Low Pressure RF Plasmas Used in Optical Coating Process
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- 資料識別：
- A06031208
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- Morrison， N.A. Weiler， M. Dahl， R. Razouki， M. Schlaefer， S. Hopkins， M. Lee， R.
- 主題與關鍵字：
- 電感耦合電漿源 法拉第杯 離子束輔助蒸鍍 射頻 解離率 離子電流密度 離子能量 電漿密度 Inductively coupled plasma source ICP Faraday cup IBAD-Ion beam assistant deposition RF-Radio frequency Dissociation degree Ion current density Ion energy Plasma density
- 描述：
- 來源期刊:光學工程
- 卷期:91 民94.09
- 頁次:頁25-36
- 日期：
- 20050900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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