Single-Crystalline Silicon on Quartz (SOQ) Wafer by Ultra-Low Temperature (100℃) Wafer Bonding and Thinning Approaches
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- 資料識別：
- A06002592
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- Chang， Chih-hsiang Peng， Cheng-jien Lu， Guan-liang Lin， Tzer-sheng
- 主題與關鍵字：
- Wafer bonding Plasma treatment Silicon on quartz
- 描述：
- 來源期刊:Tamkang Journal of Science and Engineering
- 卷期:8:3 民94.09
- 頁次:頁207-210
- 日期：
- 20050900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
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