Application of Piezo-VCM Actuator to Precision Position Control of High-Precision Positioning Table
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- 資料識別：
- A06002428
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 王俊超(Wang， Jiunn-chau) 劉永田(Liu， Yung-tien) 馮榮豐(Fung， Rong-fong)
- 主題與關鍵字：
- Voice coil motor Piezoelectric element Integral variable Stucture controller Impact force Precision positioning 音圈馬達 壓電元件 積分形可變結構控制器 衝擊力 精密定位
- 描述：
- 來源期刊:高苑學報
- 卷期:11 民94.07
- 頁次:頁61-66
- 日期：
- 20050700
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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