平面顯示器用高純度鋁濺鍍靶材開發
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- 資料識別：
- A06028172
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 陳貞光(Chen， J. K.) 曾天佑(Tseng， T. Y.) 謝榮淵(Hsieh， R. I.) 江連桂(Chiang， L. K.)
- 主題與關鍵字：
- 高純鋁 濺鍍靶材 平面顯示器 再結晶 熱機處理 High purity aluminum Sputtering targets Recrystallization Flat panel display Thermo-mechanical process
- 描述：
- 來源期刊:鑛冶
- 卷期:49:1=189 民94.03
- 頁次:頁107-117
- 日期：
- 20050300
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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