CMOS MEMS應用與設計：後CMOS製程及其應用介紹
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- 資料識別：
- A06025515
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 王宏洲 梁朝睿 王朝慶 陳煌坤 邢泰剛
- 主題與關鍵字：
- 微機電系統 CMOS MEMS
- 描述：
- 來源期刊:電子月刊
- 卷期:12:1=126 民95.01
- 頁次:頁110-122
- 日期：
- 20060100
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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