半導體製程廢氣管路中微粒沉降之實廠研究
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- 資料識別：
- A06022575
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 林智賢(Lin， Jyh-shyan) 蔡春進(Tsai， Chuen-jinn) 林宏(Lin， Hung) 張振平(Chang， Cheng-ping)
- 主題與關鍵字：
- 熱泳 微粒附著率 微粒控制 Thermophoresis Particle deposition Particle control technology
- 描述：
- 來源期刊:勞工安全衛生研究季刊
- 卷期:13:4 民94.12
- 頁次:頁257-264
- 日期：
- 20051200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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