Process Study of Micro-Drilling Polyimide Using Excimer Laser Ablation
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- 資料識別：
- A06022279
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 徐瑞芳(Shyu， Ruey Fang) 楊錫杭(Yang， H.) 翁豊在(Weng， Feng-tsai)
- 主題與關鍵字：
- Micro-drilling PI machining Excimer laser ablation Micromachining 微鑽孔 準分子雷射 聚亞醯酸
- 描述：
- 來源期刊:中國機械工程學刊
- 卷期:26:6 民94.12
- 頁次:頁717-721
- 日期：
- 20051200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
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