離子束濺鍍法成長鋯與氧化鋯薄膜特性研究
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- 資料識別：
- A06019896
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 葉松瑋(Yeh， S. W.) 胡自立(Hu， T. L.) 楊宗閩(Yang， Z. M.)
- 主題與關鍵字：
- 離子束濺鍍 氧化鋯 分析式電子顯微鏡 Ion beam sputtering Zirconia Analysis electron microscopy
- 描述：
- 來源期刊:黃埔學報
- 卷期:47 民93.10
- 頁次:頁181-193
- 日期：
- 20041000
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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