二維聲子晶體與表面聲波元件製程之整合
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- 資料識別：
- A06102128
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 顧可斌(Gu， Kebin) 謝志誠(Shieh， Jyh-cherng)
- 主題與關鍵字：
- 聲子晶體 表面聲波元件 微機電製程 Phononic crystals Surface acoustic wave devices MEMS fabrication
- 描述：
- 來源期刊:農業機械學刊
- 卷期:15:3 民95.09
- 頁次:頁15-22
- 日期：
- 20060900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
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