The Neural Network Implementation in Pattern Recognition of Semiconductor Etching Process
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- 資料識別：
- A06101848
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 陳文欽(Chen， Wen-chin) 陳振臺(Chen， Chen-tai) 蔡志弘(Tsai， Chih-hung) 何宗軒(Ho， Tsung-hsuan)
- 主題與關鍵字：
- Back-propagation neural network Semiconductor manufacturing Etching process Endpoint curve Curve recognition 倒傳遞類神經網路 半導體 蝕刻 製程終點圖形 圖形辨識
- 描述：
- 來源期刊:工業工程學刊
- 卷期:23:4 民95.07
- 頁次:頁269-279
- 日期：
- 20060700
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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