Design Analysis， Measurement and Nanometer Accuracy Position Control of a Low Friction Pneumatic Table Embedded with Aerostatic Bearings
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- 資料識別：
- A06101791
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 施明璋(Shih， Ming-chang) 白凱仁(Pai， Kei-ren) 蘇雅玲(Su， Ya-ling)
- 主題與關鍵字：
- Nanometer positioning Pneumatic table Aerostatic bearing 氣靜壓軸承 低摩擦氣壓缸 氣壓驅動平臺 奈米定位控制
- 描述：
- 來源期刊:中國機械工程學刊
- 卷期:27:4 民95.08
- 頁次:頁389-401
- 日期：
- 20060800
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
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