Mechanical Properties of Photoresist Thin Films at Various Temperature
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- 資料識別：
- A06101266
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 張瑞慶(Chang， Rwei-Ching) 陳峰元(Chen， Feng-yuan) 楊寶翔(Yang， Pao-Hsiang)
- 主題與關鍵字：
- Photoresist Thin film Nanoindentation Spin coating 光阻薄膜 機械性質 旋轉塗佈法
- 描述：
- 來源期刊:中國機械工程學刊
- 卷期:27:2 民95.04
- 頁次:頁235-240
- 日期：
- 20060400
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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