奈米MOS元件之矽化物、超淺接面及接觸孔之研發 [計畫編號：NSC-93-2215-E-009-003第三年成果報告]
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- 資料識別：
- A06100672
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 雷添福
- 主題與關鍵字：
- 奈米元件 矽化物 超淺接面 接觸孔
- 描述：
- 來源期刊:工程科技通訊
- 卷期:87 民95.08
- 頁次:頁130-133
- 日期：
- 20060800
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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