原子力顯微技術之奈米級蝕刻術初步探討
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- 資料識別：
- A05010872
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 盧慧珊(Lu， W. S.) 廖聖茹(Liao， S. J.) 鍾明仁(Chung， M. Y.)
- 主題與關鍵字：
- 大氣型掃描探針顯微鏡 原子力顯微術 蝕刻術 奈米元件 Scanning probe microscope Atomic force microscopy Lithography
- 描述：
- 來源期刊:蘭陽學報
- 卷期:4 民94.05
- 頁次:頁15-24
- 日期：
- 20050500
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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