Developing a Mini-Impact System for Measuring Silicon Wafer's Elastodynamic Response
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- 資料識別：
- A05005175
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- Jenq， S. T. Leu，T. S. Su，Y. G. Lee，J. S. HwangG. C.
- 主題與關鍵字：
- Microsensors Silicon Impact response MEMS Strain sensor Dynamic elastic property
- 描述：
- 來源期刊:Journal of Mechanics
- 卷期:21:1 民94.03
- 頁次:頁33-39
- 日期：
- 20050300
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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