半導體工業的節能挑戰
推薦分享
資源連結
連結到原始資料 (您即將開啟新視窗離開本站)後設資料
- 資料識別：
- A05004874
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 曹志明(Tsao， J. M.) 胡石政(Hu， S. C.)
- 主題與關鍵字：
- 半導體工業 廠務設施 製程設備 節能 耗能指標 Semiconductor manufacturing industry Energy saving Facility Energy consumption index
- 描述：
- 來源期刊:潔淨科技
- 卷期:9 民94.03
- 頁次:頁34-43
- 日期：
- 20050300
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
授權聯絡窗口
- 管理單位：知識服務組-期刊
聯絡E-mail：nclper@ncl.edu.tw
電話：02-23619132轉305
