半導體工業的節能挑戰

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資料識別:
A05004874
資料類型:
期刊論文
著作者:
曹志明(Tsao, J. M.) 胡石政(Hu, S. C.)
主題與關鍵字:
半導體工業 廠務設施 製程設備 節能 耗能指標 Semiconductor manufacturing industry Energy saving Facility Energy consumption index
描述:
來源期刊:潔淨科技
卷期:9 民94.03
頁次:頁34-43
日期:
20050300
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館

授權聯絡窗口

管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305

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