局部電化學沈積法之一微結構製程及機械性質量測
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- 資料識別：
- A05065123
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 楊仁泓(Yang， J. H.) 黃英修(Huang， Y. H.) 李春穎(Lee， C. Y.) 林招松(Lee， C. S.)
- 主題與關鍵字：
- 局部電化學沈積 懸臂樑 楊氏係數 動態共振頻率 Localized electrochemical deposition Cantilever Young's modulus Piezoelectric actuator Flexure hinges
- 描述：
- 來源期刊:材料科學與工程
- 卷期:37:2 民94.06
- 頁次:頁93-99
- 日期：
- 20050600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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