A Numerical Study for Flow and Heat Transfer in a Rectangular Chemical-Vapor-Deposition Chamber

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資料識別:
A05063625
資料類型:
期刊論文
著作者:
姜彥竹(Jiang, Yan-zhu) 楊儒(Yang, Ru)
主題與關鍵字:
Numerical heat and fluid flow study CVD process 矩形化學汽相沉積 CVD 流場 熱傳
描述:
來源期刊:中國機械工程學刊
卷期:26:2 民94.04
頁次:頁115-119
日期:
20050400
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館

授權聯絡窗口

管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305

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