A Numerical Study for Flow and Heat Transfer in a Rectangular Chemical-Vapor-Deposition Chamber
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- 資料識別：
- A05063625
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 姜彥竹(Jiang， Yan-zhu) 楊儒(Yang， Ru)
- 主題與關鍵字：
- Numerical heat and fluid flow study CVD process 矩形化學汽相沉積 CVD 流場 熱傳
- 描述：
- 來源期刊:中國機械工程學刊
- 卷期:26:2 民94.04
- 頁次:頁115-119
- 日期：
- 20050400
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
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