有機高分子材料在半導體低介電薄膜上的應用簡介
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- 資料識別：
- A05003080
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 鍾顯政
- 主題與關鍵字：
- 積體電路 介電常數 有機高分子 低介電材料 Integrated circuit IC Dielectric constant Organic polymers Low-乆Materials
- 描述：
- 來源期刊:工業材料
- 卷期:218 民94.02
- 頁次:頁96-106
- 日期：
- 20050200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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