國家奈米元件實驗室之微動量測與分析
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- 資料識別：
- A05057166
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 蔡英宏 黃炯憲 劉俊秀 尹衍樑 林俊昌
- 主題與關鍵字：
- 國家奈米元件實驗室 微動量測 晶圓廠房設計
- 描述：
- 來源期刊:結構工程
- 卷期:20:3=79 民94.09
- 頁次:頁73-97
- 日期：
- 20050900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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