提昇低溫多晶矽製程窗口之技術研發與結晶模擬器製作
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- 資料識別：
- A05056060
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 郭啓全 陳佳斌 鄭正元
- 主題與關鍵字：
- 低溫多晶矽製程 結晶模擬器 準分子雷射 低溫多晶矽膜 ELC LTPS
- 描述：
- 來源期刊:機電整合
- 卷期:83 民94.07
- 頁次:頁144-149
- 日期：
- 20050700
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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