以MOCVD在蝕刻過的藍寶石基板上成長氮化鎵薄膜

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資料識別:
A05048948
資料類型:
期刊論文
著作者:
蔡敬恩(Tsai, C. E.) 卓昌正(Chuo, C. C.) 郭威宏(Kuo, W. H.) 蔡政達(Tsai, J. D.) 徐大正(Hsu, T. C.) 潘錫明(Pan, S. M.)
主題與關鍵字:
蝕刻過的藍寶石基板 氮化鎵 有機金屬氣相沉積 發光二極體 Patterned-sapphire substrate GaN MOCVD LED
描述:
來源期刊:工業材料
卷期:226 民94.10
頁次:頁158-163
日期:
20051000
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館

授權聯絡窗口

管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305

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