無砥粒化學機械研磨技術應用於降低銅金屬導線平坦化製程中之圖形效應
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- 資料識別：
- A05048195
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 方政煜 黃秉緯 李美儀 蔡明蒔 戴寶通 馮明憲
- 主題與關鍵字：
- 化學機械研磨 銅金屬導線 平坦化製程
- 描述：
- 來源期刊:電子月刊
- 卷期:11:9=122 民94.09
- 頁次:頁150-158
- 日期：
- 20050900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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