轉印模仁之奈米結構製作

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資料識別:
A05046110
資料類型:
期刊論文
著作者:
蘇建彰 陳建洋 謝逸凡 林建宏 蔡居恕 賴文郎 張復瑜
主題與關鍵字:
奈米轉印微影術 模仁 奈米結構 奈米圖案 抗沾黏 Nanoimprint lithography NIL Mold Nanostructure Nanopatterning Anti-adhesion
描述:
來源期刊:機械工業
卷期:269 民94.08
頁次:頁44-55
日期:
20050800
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館

授權聯絡窗口

管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305

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