陰極電弧沈積氮化鋁鈦/氮化鉻奈米多層薄膜之開發與應用
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- 資料識別：
- A05040326
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 汪大永(Wang， Da-yung) 張銀祐(Chang， Yin-yu) 洪志穎(Hung， Chi-yung)
- 主題與關鍵字：
- 硬質鍍膜 物理氣相沉積 陰極電弧沈積 Hard Hard coating Physical vapor deposition Cathodic arc evaporation
- 描述：
- 來源期刊:科學與工程技術期刊
- 卷期:1:2 民94.09
- 頁次:頁1-6
- 日期：
- 20050900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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