半導體廠製程排氣系統洩漏量量測與分析
推薦分享
資源連結
連結到原始資料 (您即將開啟新視窗離開本站)後設資料
- 資料識別：
- A05024197
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 陳文亮(Chen， Wen-liang) 沈銘秋(Shen， Ming-chiou)
- 主題與關鍵字：
- 排氣系統 洩漏量 Exhaust system Leakage HVAC
- 描述：
- 來源期刊:樹德科技大學學報
- 卷期:7:2 民94.06
- 頁次:頁79-88
- 日期：
- 20050600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
授權聯絡窗口
- 管理單位：知識服務組-期刊
聯絡E-mail：nclper@ncl.edu.tw
電話：02-23619132轉305
