金屬氮化物作為扭轉式微鏡面元件鉸鏈材料之研究
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- 資料識別：
- A05022463
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 丁志華 陳至賢 梁家倫 顏進偉 許倬綸 貢中元 黃豐元
- 主題與關鍵字：
- 金屬氮化物 扭轉式微鏡面 鉸鏈 堅韌 反應式濺鍍沉積 Metal nitride Torsional micromirror Hinge Toughness Reactive sputtering deposition
- 描述：
- 來源期刊:奈米通訊
- 卷期:12:3 民94.08
- 頁次:頁34-43
- 日期：
- 20050800
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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