金屬誘發結晶法製作多晶矽薄膜之研究
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- 資料識別：
- A04004645
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 林士傑(Lin， Shi-jie) 林宣樂(Lin， Shiuan-leh) 李清庭(Lee， Ching-ting)
- 主題與關鍵字：
- 多晶矽薄膜 二氧化矽 成長非晶矽薄膜
- 描述：
- 來源期刊:真空科技
- 卷期:16:3 民93.01
- 頁次:頁13-18
- 日期：
- 20040100
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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