低光擾掃描電容顯微術在電性接面分析之應用
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- 資料識別：
- A04047795
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 張茂男(Chang， M. N.) 陳志遠(Chen， C. Y.) 萬文武(Wan， W. W.) 梁正宏(Liang， J. H.)
- 主題與關鍵字：
- 掃描電容顯微鏡 熱處理 離子佈植 光擾 Scanning capacitance microscopy SCM Thermal treatment Ion implantation Photoperturbation
- 描述：
- 來源期刊:真空科技
- 卷期:17:4 民93.12
- 頁次:頁51-59
- 日期：
- 20041200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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