Nano Mechanical Properties Evaluation of R. F. Magnetron Sputtered Chromium Nitride Thin Film
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- 資料識別：
- A04043926
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- Lee，Jyh-wei Huang，Jen-ching Duh，Jenq-gong
- 主題與關鍵字：
- Nanoindentation CrN Nano hardness Nano scratch Nano wear
- 描述：
- 來源期刊:Tamkang Journal of Science and Engineering
- 卷期:7:4 民93.12
- 頁次:頁237-240
- 日期：
- 20041200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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