多孔性低介電常數材料的非損害性清洗製程

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資料識別:
A04043226
資料類型:
期刊論文
著作者:
Clark,Philip G. Moore,Darren L.
主題與關鍵字:
多孔性低介電常數材料 非損害性清洗製程 晶圓 表面處理
描述:
來源期刊:零組件雜誌
卷期:158 民93.12
頁次:頁78-80+82+84
日期:
20041200
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館

授權聯絡窗口

管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305

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