多孔性低介電常數材料的非損害性清洗製程
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- 資料識別：
- A04043226
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- Clark，Philip G. Moore，Darren L.
- 主題與關鍵字：
- 多孔性低介電常數材料 非損害性清洗製程 晶圓 表面處理
- 描述：
- 來源期刊:零組件雜誌
- 卷期:158 民93.12
- 頁次:頁78-80+82+84
- 日期：
- 20041200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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