晶圓磨床設計與實作
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- 資料識別：
- A04041803
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 陳世昌
- 主題與關鍵字：
- 晶圓磨床 氣靜壓主軸 背面研磨 Wafer grinder Aerostatic spindle Backside grinding
- 描述：
- 來源期刊:機械工程
- 卷期:251 民93.12
- 頁次:頁63-68
- 日期：
- 20041200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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