晶圓超精密輪磨技術探討
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- 資料識別：
- A04041802
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 王文瑞
- 主題與關鍵字：
- 超精密磨床 延性輪磨 磨削痕跡 Ultra precision grinder Ductile mode grinding Grinding mark
- 描述：
- 來源期刊:機械工程
- 卷期:251 民93.12
- 頁次:頁53-62
- 日期：
- 20041200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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