導電式原子力顯微鏡在IC製程及故障分析之應用
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- 資料識別：
- A04041004
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 莊榮祥(Chuang， Jung-hsiang) 李仲(Lee， Jon C.) 吳兆奇(Wu， Chao-chi) 黎聰德(Li， Tsung-te) 姚東騰(Yao， Tung-teng)
- 主題與關鍵字：
- 導電式原子力顯微鏡 IC製程
- 描述：
- 來源期刊:科儀新知
- 卷期:26:3=143 民93.12
- 頁次:頁6-12
- 日期：
- 20041200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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