薄膜電晶體液晶顯示器三層金屬蝕刻製程之探討
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- 資料識別：
- A04002972
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 黃中皇 陳佳榆 林世平 蔡東璋
- 主題與關鍵字：
- 薄膜電晶體 液晶顯示器 三層 完全性蝕刻 低溫複晶矽 Low temperature poly silicon LTPS Thin film transistor TFT Liquid crystal display LCD Tri-layer Fully dry etching
- 描述：
- 來源期刊:電子月刊
- 卷期:10:3=104 民93.03
- 頁次:頁143-150
- 日期：
- 20040300
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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