矽酸鉿與矽酸鋯薄膜的原子層沉積
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- 資料識別：
- A04002969
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- Vainonen-Ahlgren，E. Tois，E. Ahlgren，T. Khriachtchev，L. Marles，J. Haukka，S. Tuominen，M.
- 主題與關鍵字：
- 原子層沉積 薄膜 Atomic layer deposition ALD
- 描述：
- 來源期刊:電子月刊
- 卷期:10:3=104 民93.03
- 頁次:頁126-130
- 日期：
- 20040300
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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