淺談低溫複晶矽薄膜電晶體面板製造與大面積化之挑戰
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- 資料識別：
- A04002963
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 張鈞傑 莊景桑 陳志強 陳佳榆
- 主題與關鍵字：
- 低溫複晶矽薄膜電晶體 雷射結晶 離子植入 檢測 LTPS TFT Low temperature poly-silicon TFT Laser crystallization Ion implantation Inspection
- 描述：
- 來源期刊:電子月刊
- 卷期:10:2=103 民93.02
- 頁次:頁188-212
- 日期：
- 20040200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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